Китайская компания представила первую установку для производства чипов методом наноимпринтной литографии

В отличие от традиционной фотолитографии, эта технология позволяет буквально «штамповать» наноразмерные схемы на поверхности кремниевых пластин с помощью кварцевого шаблона, выгравированного с узорами.

Система поддерживает работу с 300-миллиметровыми пластинами и способна наносить линии шириной менее 10 нанометров. Благодаря использованию чернильной печати для нанесения резиста и управлению профилем шаблона, установка обеспечивает высокую однородность, точное совмещение рисунков и минимальные искажения даже при сложной геометрии структур.

Prinano стала второй компанией в мире после Canon, представившей коммерческое решение в области наноимпринтной литографии. Основное применение технологии связано с производством памяти, микро-дисплеев, оптоэлектроники и решений для передовой упаковки микросхем. Массовое производство процессоров и графических чипов с её помощью пока не рассматривается из-за сравнительно низкой скорости обработки и высокой чувствительности к дефектам.