TSMC планирует сократить энергопотребление EUV-оборудования на 44%, сэкономив 190 млн кВт·ч к 2030 году
TSMC запустила программу динамического энергосбережения для своих EUV-сканеров, которая уже показала значительное снижение потребления электроэнергии. С сентября 2025 года программа постепенно внедряется на заводах Fabs 15B, 18A и 18B, а к концу года охватит все EUV-установки компании по всему миру.
Мнение автора может не совпадать с мнением редакции
Все новые фабрики, включая второй этап Fab 21 в Аризоне, также будут оснащены этой системой.
Компания прогнозирует, что к 2030 году программа позволит сэкономить 190 миллионов кВт·ч электроэнергии и сократить выбросы CO₂ на 101 килотонну. При этом энергопотребление EUV-оборудования на пике работы удалось снизить на 44% без ущерба для производительности, качества и выхода продукции.
TSMC рассматривает возможность внедрения аналогичных систем управления энергопотреблением для других литографических установок, включая DUV-сканеры, а также для оборудования вне литографии.
0
В избр.
Сохранено